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2018-10-
燃气涡轮发动机包括压缩机,燃烧器和涡轮部分。燃烧器包括为燃烧过程供应燃料的燃料喷射器。多个燃料管线的热...
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2018-09-
制造业作为国民经济的重要组成部分,在国民经济中扮演着至关重要的角色。 当前,以云计算、大数据、物联网、人...
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2018-06-
2010年2月11日上午,第六次极大规模集成电路制造装备及成套工艺重大科技专项领导小组工作会议在北京召开,科技部...
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为加强集成电路装备重大专项的规划与统筹,做好专项的顶层设计工作,2010年11月27-28日,集成电路装备重大专项在深...
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中广网北京1月12日消息(记者赵明明)中国电科承担的国家重大科技专项--极大规模集成电路制造装备与成套工艺专项...
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2012年7月23日,为落实国务院领导近期对科技重大专项审计调查整改工作的重要指示精神,进一步加强专项的管理,极...
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近日,国家科技重大专项极大规模集成电路制造装备及成套工艺部署的90-65nm等离子体增强化学气相沉积(PECVD)设备...
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2018-05-
① ② ③ ④ ①通用物理气相沉积设备 ②七星-流量计CS230-1 ③中微产品MOCVD ④钽靶材 在集成电路上我国曾长期受制于...