专访集成电路装备专项技术总师叶甜春

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　　①通用物理气相沉积设备

　　②七星-流量计CS230-1

　　③中微产品MOCVD

　　④钽靶材

　　在集成电路上我国曾长期受制于人。国外先是对我国实行禁止出口，而后略有松动又实行严格审查和限制：如果卖给我们较先进的集成电路设备和材料，人家有权随时随地对我们的使用情况进行检查。为了改变这种状况，实现自主创新发展，“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”国家科技重大专项于2008年开始启动实施。

　　经过广大科研人员近10年的艰苦攻关，我国集成电路制造技术实现了“从无到有”“由弱渐强”的巨大变化，引领和支撑了我国集成电路产业的快速崛起。

　　你知道集成电路（又称芯片）有多密集吗？以28纳米技术为例，集成度相当于在指甲盖大小的面积上制造出10亿个以上的晶体管，其中每根导线相当于人体头发丝的1/3000。而更先进的14纳米技术，则相当于在人体头发丝截面上制造出50万个以上的晶体管，其中每根导线相当于人体头发丝的1/5000。

　　那你又知道集成电路同我们日常生活的关系吗？假如没有了集成电路，电脑、手机、家电、汽车、高铁、电网、医疗仪器、机器人、工业控制等等就都无从谈起。信息时代离不开集成电路。

　　在集成电路上我国曾长期受制于人。国外先是对我国实行禁止出口，而后略有松动又实行严格审查和限制：如果卖给我们较先进的集成电路设备和材料，人家有权随时随地对我们的使用情况进行检查。

　　为了改变这种状况，实现自主创新发展，根据《国家中长期科学和技术发展规划纲要（2006—2020年）》，“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”国家科技重大专项（简称专项）于2008年开始启动实施。

　　从无到有 填补空白

　　集成电路制造技术代表着当今世界微细制造的最高水平，涉及学科技术范围广，从原材料到终端产品，共涉及半导体物理、化学、精密加工、精密光学、计算机、自动化、材料等40多个学科的最顶尖技术，是目前为止涉及学科最多的产业，因此集成电路产业是一个国家高端制造能力的综合体现，是全球高科技国力竞争的战略必争制高点。

　　“我们的目标是开展集成电路制造装备、成套工艺和材料技术攻关，掌握核心技术，开发关键产品，实现产业自主创新发展。”叶甜春说。

　　叶甜春是中科院微电子所所长，集成电路装备专项的技术总师。他在接受科技日报记者专访时说，经过广大科研人员近10年的艰苦攻关，我国集成电路制造技术实现了“从无到有”“由弱渐强”的巨大变化，引领和支撑了我国集成电路产业的快速崛起。

　　我们曾经有过两项空白。

　　在专项实施前，我国集成电路高端制造装备为零。

　　“经过专项实施，一批集成电路制造关键装备实现从无到有的突破。”叶甜春说，目前我们的国产刻蚀机、磁控溅射、离子注入机等30多种关键设备都已研制成功，并通过了大生产线的考核，实现了批量供货。总体技术水平达到28纳米精度，部分14纳米精度的关键设备开始进入客户生产线验证，累计销售了306台。国内主要配套零部件配套体系初步形成，国产零部件销售3556台（套）。