Centrotherm 高温退火炉系统-Activator 15

  PCB抄板是反向技术研发一个重要的应用领域。利用PCB抄板对产品进行拆解，从产品的pcb文件、BOM清单、原理图等设计要素入手进行研究，从而达到对引进技术进行消化、吸收和再创新的目的。迄今为止，PCB抄板已经形成一个较为成熟的行业，市场布局也从先前的克隆与复制逐渐向技术改造更新和高端化方向发展。

一、产品简介

Centrotherm Activator 150 高温炉设计用于SiC或GaN器件注入后退火。Centrotherm独特工艺炉管和加热系统设，允许工艺温度达到 1850 ℃。

此外，Activator 150 系列的产品可以实现生长石墨烯生长。通过碳化硅升华生长石墨层可以获得高性能器件。

Centrotherm 新一代SiC工艺炉管的研发用以满足新兴的150 毫米 SiC工艺。

Centrotherm Activator 150-5 是为研发工作而特制的，而Centrotherm Activator 150-50专为大批量生产设计。

广泛的工艺范围实现了对自定义化程序的优化, 例如温度, 气路系统和压力。

 

二、典型应用

SiC器件高温退火 （注入后）

GaN器件退火

大面积石墨烯生长

SiC表面制备

 

三、产品特性

性能和优势

高活化效率

小表面粗糙度

温度可达 1850 ℃

升温速率可达 100 K/min

批处理晶片尺寸包括 2″、3″、4″、6″

批处理数量达到 40片2″/或3″硅片, 50片4″/或6″硅片

可并排安装

 

选项

上下料腔室微环境控制

自动机械手装片

测温热偶

骏驰科技始终致力于国外技术壁垒的突破和国内技术研究进步与民族产业振兴，长期以低姿态、高效率、低成本、高成功率向各行业领域提供项目开发的全程技术支持与完整解决方案，主要涉及PCB抄板、PCB设计、芯片解密等服务，同时根据客户需求提供元器件采购与替换，做真正专业的PCB服务商。